陳星弼（1931—2019），中國（guó）科學院院（yuàn）士、教授、博導，1952年畢業於同濟大學電機係，畢業後（hòu）在廈門大學電機係、南（nán）京工學院（現東南大學）無（wú）線電係擔任助教。1956年到成都電（diàn）訊工程學（xué）院（現電子科技（jì）大學）任教。1983年任（rèn）成都電訊工程學院微（wēi）電子科學與工程係係主任、微電子研究所所長。他是我國第一批學習及從事半導體研究的科技人（rén）員之一，電（diàn）子工業（yè）部“半導（dǎo）體器件與微電子學”專業第一個博（bó）士（shì）生導師，國際著名半導體器件物理學家（jiā）、微（wēi）電子學家，國際半導體界著名的超結（jié）結構（Super Junction）的發明人，也是國際上（shàng）功（gōng）率器件的結終端理論的（de）集大成（chéng）者。他從1981年（nián）起開始對功率半導體器（qì）件進（jìn）行研（yán）究，第一個提出了各種終端技術（shù）的物（wù）理解釋及解析理論。他（tā）提出了兩類縱向導電的器件新耐壓結構，並作了唯（wéi）一的三維電場分析結果，被國際學術界譽為功率器件的（de）新裏程碑。他發表（biǎo）200餘篇學術論文，獲得授權中美等國發明（míng）專利40餘項（xiàng），其中著名（míng）的超結發明專利US5216275被國際專利他引超過550次，並授權（quán）給國際主流半導（dǎo）體公司。因對高壓（yā）功率MOSFET理論與設計的卓越貢獻，他於2015年5月獲得IEEE ISPSD（國際功率半導體器件與集成電路年會（huì））頒發的（de）最高榮譽“國際功率半導體先驅獎”，成為亞太地（dì）區（qū）首位（wèi）獲此殊榮的科學家。2018年5月，因發明超（chāo）結器件（jiàn）成為國內（nèi）首位入選IEEE ISPSD首（shǒu）屆全球32位名人堂的科學家。

半導體功率器件（jiàn），是電能/功率處理的核心（xīn）器件，更是弱電控製與強電運（yùn）行之間（jiān）的溝通橋梁，在（zài）“中國製造”向“中國智造”轉型過程中，在民族電子信息產業發（fā）展中發揮著重要作用（yòng）。陳星弼院士為此付出了數十年（nián）的心血（xuè）與智慧，直到生命最後一（yī）刻，仍念茲在茲。

2019年12月4日，這（zhè）位（wèi）被稱作中國半導體功率（lǜ）器件領路人的科學家在成都去世，享年89歲。那條（tiáo）他常去實驗室的路上（shàng），鋪滿了金黃的銀杏葉，仿佛在懷念這位中國學人輝煌的科研人生，也似乎還在傾聽他對我國功率器件（jiàn）取得進一步突破的夢想。

“我想陳先生心裏想的是，還要再活十年、二十年，還要再為國（guó）家和（hé）社會作出新的貢獻。所以（yǐ）陳先生是有言而未語，自（zì）己在堅持，希望能夠對（duì）抗病魔。”陳星弼的學生（shēng）、原四川省電子廳廳（tīng）長蔣臣琦在看望病中的恩師（shī）時這樣說。

美國3D公司授（shòu）予陳星弼的獎牌。

是（shì）啊！陳星弼那樣熱愛生命，熱愛科學。2019年10月，他還和學院的年輕人一起秋遊（yóu）都江堰；生病的前一（yī）天依然在實驗室裏工作（zuò）；即使在病床上，他也不閑著（zhe），琢（zhuó）磨如（rú）何改進輸液即將完畢時通知護士的方式。陳（chén）星（xīng）弼的兒子感慨：“真的沒有想到啊……他還有好多事情想做，好多研（yán）究可以做，有很多新的idea（想法），這是他最大的遺（yí）憾。”

可（kě）是，這位老者沒有更（gèng）多的時光了。2019年11月20日（rì），陳星弼戴著無創呼吸機，在白細胞22000的（de）情況（kuàng）下寫下了這樣一段話（huà）：“一（yī）生輾轉（zhuǎn）千萬裏，莫問（wèn）成敗重幾許，得之坦然，失（shī）之淡然。與其在（zài）別人的輝煌裏仰望，不如親手點亮自己（jǐ）的心（xīn）燈，揚帆遠航……”這是他最後的心語。

十幾天後，陳星弼在他最愛的（de）《命運》交響曲中離（lí）開了這個世界，帶著未酬的淩雲壯誌，帶著對祖國的無限熱愛（ài）。

陳星弼（右）和胡思福在進行光刻分析。

闖出新路

陳星弼與功率器件的緣分要追溯到20世紀80年代。那時，他作為（wéi）“文革”後第一批出國留學人員赴美國俄（é）亥俄大學、加州大學伯克利分校做（zuò）訪問學者。

一個極具科研價值的問題吸（xī）引了陳星弼：以毫米（mǐ）為單位的小小芯片從晶（jīng）圓片上（shàng）劃分而來，製作成各種產品，但是每個（gè）芯片都（dōu）有邊界，它對功率（lǜ）器件的性能影響如何解決呢？

憑借紮實功底和勤奮學習，陳星弼提出了一個（gè）獨特的思路：應該有一（yī）個最佳的電荷分布，能在（zài）表麵以最短的距離（lí）使擊穿電壓達到盡（jìn）可能高的值，即最佳表麵變摻雜。

“邂逅”功率器件，擦出火花後（hòu），陳星弼並（bìng）沒（méi）有順這條新路走下去。他猶豫著（zhe），要不要回（huí）到自己最喜愛（ài）的物理學研究領域？但（dàn）歸國後，陳星弼強烈感受到，半（bàn）導（dǎo）體功率器件對國家電子信息領域發展的重要，於是（shì），他放棄原來的理想，全力投入這一領域的研究之中。

萬丈高樓平地起，麵向全新領域，陳星弼開始一磚一瓦搭（dā）建基礎平台。1983年，他推動建立微電子研（yán）究所（suǒ），帶領大家忘我地投入科（kē）研工作。每天晚上鍾聲敲過十二下，學校要關門了，陳星弼才肯（kěn）離開實驗室，一路疾走，回到家中繼續幹（gàn）。有時工作到淩晨兩三點，有（yǒu）時通宵達旦，直（zhí）到東方發白，才短暫休息幾（jǐ）個小時。

此（cǐ）時的陳（chén）星弼已年過五旬，卻以比年輕人更勤勉的（de）態度、更旺盛的精力投（tóu）入這一全新的事業（yè）裏。於（yú）是，一條新路，在陳星弼堅實的步伐中，延伸向希望的遠方。

陳星弼的幾（jǐ）篇論文《P-N結有場板時表麵電場分布的簡單公式》《突變（biàn）平麵結表麵電場的近似公式》等相繼發表，“功率（lǜ）半導體器件及高壓集成電路”這個嶄（zhǎn）新而陌生的詞組從此與他緊緊（jǐn）聯係在一起。1987年，微電子研究所課題達到10個，經費（fèi）將（jiāng）近30萬元。這在當時是一筆不小（xiǎo）的數目。

“尤（yóu）其值得高興的是，‘半導體器件與微電子（zǐ）學’高分通過了博士點（diǎn）申請。”1989年11月，時（shí）任電子科技大學校長的劉盛綱院士，在一次校內會議上通報了學校參（cān）加全國第四批學科點評（píng）審的情況。陳星（xīng）弼舒心地笑（xiào）了，在同（tóng）事熱情的掌聲中，他激動地用力皺緊眉頭，眯起眼睛，不（bú）讓淚水流出。

勇攀高峰

“集成電路為電子信息時代奠（diàn）定了基（jī）礎，就像造房（fáng）子一樣。網絡、雲（yún）等都是重要的，但基（jī）石是微電子。”陳星弼在接受記（jì）者采訪時這樣介紹自己的研究，“關於電子信息的發展，有兩個重要的問題：一個是如何發（fā）現新的發電方法，比如太陽能電池；另一個是如何節（jiē）省電能，我們（men）所做的工作就是節省電（diàn）能。”

陳星弼以微電子研究所為“根據地”，帶領一批優秀的科研工作（zuò）者在半導體功率器件領域不斷奮鬥（dòu），在中國首次研製了VDMOST、IGBT、LDMOST、MCT、EST等器件，並首（shǒu）次提出了各種終端技術的物理解釋及解析理（lǐ）論。他想，人們希望功率器件耐壓很高，接通（tōng）時（shí）電阻很小，但它卻（què）有矽極限。如何實現突破呢？

陳星弼研究了（le）很多終端（duān）技術理論，逐漸形成了（le）表麵耐壓（yā）層結構的想法。他不分白天黑夜，泡在實驗室裏，甚至（zhì）自己出錢租設備（bèi），助手（shǒu）唐茂成和葉星寧協助他到沈陽電子部47所投片。經過多次試驗，陳星弼和他的研究小組終於通過改變功率管的結構，實現了複合緩衝耐壓結構（現（xiàn）稱為超結器件）。

超結器件導通電阻低，易驅動，速度（dù）快，引起學術界和企業界很大反響，被稱作“功率器件的新（xīn）裏程碑”。

這一發（fā）明的相關專利在全世界（jiè）範圍內已被引用超過550次，所產生的經（jīng）濟效益非常明顯，英飛淩、意法半導（dǎo）體、仙童、東芝等公司都投入生產。根據法國半導體領域的一家市場調查公司的調查結果顯示，超結功率器件將以10.3%的年複合增長率迅速增長。而超結MOS器件的應（yīng）用也非常廣泛，包括電腦電源、照明電源、液晶電視、光伏逆變器，以及醫療（liáo）、電信、工業等多類（lèi）電源都（dōu）有它的“身影”。

為此，國內外專家對陳星弼及其發明都給予了高度評價——

美國德克薩斯大學電子工（gōng）程係終身正（zhèng）教授周電說：“陳院士的發明是中國人民的智慧瑰寶，也（yě）是全世界人民的共同（tóng）智慧財產。”“該專利發明標誌著半導體功率器件發展進入了（le）一個叫（jiào）作‘超級結’功率器件的（de）新時代。”

加拿大科學院院士、前（qián）院長、中國科學院外籍院士Jamal教授說：“事（shì）實上，在功率器件領域（yù），他（陳星弼）曾通過出色的研究工作單槍匹馬讓中國的研究進入國際學術舞（wǔ）台。與我們現在的科研條件相比，他是在資（zī）源極其有限的情況下實現（xiàn）這一巨大成就的。”

然而（ér），陳星弼對超結器件仍不滿意，耿耿於懷的是它的缺陷。2000年後，他（tā）又發明了（le）高K電介質耐壓結構、高速IGBT、兩種多數載流子導電（diàn）的器（qì）件等，這使我國高壓（功率）集成電路在一個新（xīn）的、更（gèng）先（xiān）進的起點上起飛。

科研人生

2015年，陳星弼榮獲國際功率半導（dǎo）體先驅獎，他談到了自己對科研的熱愛：“和我同齡的很多人都已經過上了清閑的退休生活，但我卻很享受（shòu）奮戰在第一線的狀態。我覺得吃喝（hē）玩樂才沒意思呢，在科學的路上，遇到困難（nán）、解（jiě）決困難就是一種幸福。”

陳星弼是從20世紀50年（nián）代開始走上了這條“幸福”之路（lù）的。那時，他剛從同濟大學畢業，在南京工學院電機係任助教（jiāo），又北上中科院進修（xiū）。他被漂移晶體管吸引（yǐn）住了（le）。這在當時是新興事物，正逐漸替代飽和晶體管。

陳星弼利用假期進行推導，不久，他的第一篇論文《關於半導體漂移三極管（guǎn）在飽和區工作時的儲（chǔ）存（cún）時間問題》發表於1959年的《物理學報（bào）》之上，這是國際上首（shǒu）次指出集電區中（zhōng）少數載流（liú）子存儲效應（yīng）對開關性能影響的重要文章（zhāng）。

結束在中科院的進修（xiū）後，陳星弼來到巴蜀大地。此時，按照周恩來總理的親自部署（shǔ），交通大學（xué）（現上海交通大學、西安交通大學）、南京工學院（現東（dōng）南大學）、華（huá）南工學院（現華南理工大學）的電訊工程有關專（zhuān）業西遷成都（dōu），合並創建成都電（diàn）訊工程學院（現電子科技大學，簡稱成電）。陳星弼把對祖國的深情和（hé）對科研（yán）的熱愛都融入這所新學校的建設（shè）之中，開始了自己六十餘年的成電生涯。

在陳星弼的建議和努力下，成電於20世紀70年代接到了研製矽靶攝像管的科研任（rèn）務。矽靶靶麵研（yán）製小組成立（lì）後，陳星弼做了理論論證，提出工藝和測量方（fāng）麵進行（háng）攻關的（de）三大難題。全組人員（yuán）經（jīng）過四個月的艱苦奮（fèn）戰，在733廠和970廠的配合下，終於研製出我國第一支矽靶攝像管。

即（jí）使在那樣的（de）特殊年（nián）代，陳（chén）星弼也克服一切困（kùn）難，醉心科研。在測量半導體的電阻率時，他發現了一個問題。平時（shí），最常用的方法是“四探針法”，通（tōng）常所用的理論（lùn）計算方式必須假設（shè）均勻材料。陳星（xīng）弼卻發現實際情（qíng）況和假設有差別。這一問題激發了他強（qiáng）烈的研究欲望。他利（lì）用業餘時間（jiān）研究電阻率，最後利用傳統的（de）電荷鏡像法，頗具匠心地創造了一種在一維（wéi）方（fāng）向介質是不均勻的鏡像（xiàng）電荷的方程。

從漂（piāo）移晶體（tǐ）管到矽靶攝像管，再到後來創造輝煌的半導體功率（lǜ）器件，陳星弼一直葆有對（duì）科研的無限（xiàn）熱愛和克服科（kē）學困難的壯誌雄心。他（tā）說：“科研之初，就（jiù）像（xiàng）貝多芬《命運》交響曲的（de）第一樂章，我們掙紮、追尋、研究和爭辯，內心有苦也有樂。然而通過不懈的努（nǔ）力，終於征服了種種障礙，並且在某項研究中取得了成功，這又像《命運》交響曲的第四樂章（zhāng）。”

立德樹人

“嚴字當頭，把學生當‘敵人’。”這是陳星（xīng）弼數十載的教學感悟。他認為，講授真（zhēn）學問的（de）關鍵在“嚴”，把學生當作“敵人”，以難題驅動，進而提升他們思考解決問題的能力。

陳星弼經常舉一個例子，前中國女子（zǐ）曲棍球教練金昶伯，對（duì）待自（zì）己的隊員就像“敵人”一樣（yàng），通過魔鬼訓練讓她們磨礪進步。“嚴（yán）師（shī）出高徒”，正是在其率領下，中（zhōng）國女子曲棍球（qiú）隊在（zài）不到3年時間裏（lǐ），一躍成為一支世（shì）界強隊。

如何（hé）做到嚴格要求呢？陳（chén）星弼的方法是自主設計難題，讓學生在攻（gōng）克難題（tí）中鍛煉能力，並能不斷創新。他還通過在考（kǎo）試題目中設置難題，辨識學生學習成果差（chà）異，讓分數“高斯”分布。

同時，陳星弼也（yě）非常重視“寬（kuān）嚴相濟”。而他認為的“寬”，則是指老師要引導學生加強基礎課和通識教育的學（xué）習（xí），打下寬厚基礎，奠定（dìng）未來研（yán）究工作的基石。“現今科技日新月異，專業知識也會（huì）隨之更新（xīn）。我（wǒ）們學雙極型晶體管時，未承想（xiǎng）過幾年便（biàn）出現MOS晶體管。當我們學習MOS晶體（tǐ）管時，很快又有了集成電路。那我們要靠什麽快速跟（gēn）進學習與認知？靠的就是我（wǒ）們曾經不惜時（shí）間和精力打下的數理（lǐ）基礎。”

著眼於中國高（gāo）等教育（yù）發展，陳星弼常常呼籲，大學教育（yù）培養的不隻是高級技師，而應以輸出（chū）對科技發展有貢獻的科學家為主，因此要站在對學生及中國高等教育高度負責（zé）的立（lì）場，加強基礎課的（de）投入，提升基（jī）礎（chǔ）課的教學水（shuǐ）平。“不要怕學生缺少某些知識，不要妄想知識都要從（cóng）學校得來，要讓學生意識到，可持（chí）續學習能力的自我培養是珍貴品質。”

雖已過去數十年，原成都電訊工程（chéng）學院三係係主任謝孟（mèng）賢回憶陳星弼上課的情景（jǐng），仍曆曆在目：“陳老師自己在上講台前總是將教案熟悉到極致，所有理論體係（xì）、知識案例都在他的腦海裏形成一個（gè）嚴密的體係。走上講（jiǎng）台（tái），不用背，不用記，要講的內容像水流一（yī）樣涓涓不息地淌出來。從1959年開始上課，他就不帶講稿，隻有一張香（xiāng）煙盒大小（xiǎo）的紙片寫（xiě）好備忘摘錄。他的（de）課有趣生動，難點重點突出（chū），分析透徹。”

不管工作多麽繁忙，陳星弼都把教學（xué）工作放在非常重要（yào）的位置（zhì）。他曾（céng）主動請纓，接手“人人討厭上”的量子力學，還為研究生（shēng）開設（shè）了《半導體器件物理》《半導體器件（jiàn）的數（shù）值計算方法》《功（gōng）率MOS》等（děng）新（xīn）課。

課程很難，陳（chén）星弼卻很興奮。他一向認為，“越偉大越深奧的東西我越喜歡攻克”。陳星弼的課保持著一貫風格：突出物理概念，啟發式教育。他將豐富的科研體驗融匯在課（kè）堂內容中，學（xué）生感覺實用性更強（qiáng）。

為了鍛煉學生的英語能力，陳星弼在研究生課堂上采用全英（yīng）文教（jiāo）學（xué）。他崇尚自由包（bāo）容的課（kè）堂氛圍，允許學生隨意提問。討論時，沒有權威，沒（méi）有師生關係，隻有平等（děng）交流。同學（xué）們踴躍發言，甚至為某（mǒu）一個問題爭得麵紅耳赤。

陳星弼還經（jīng）常（cháng）給學生們開（kāi）人文講座，建議他們讀世界名著、聽古典音樂，鍛煉他們的語言表達能力。他認為，通識教育雖不能讓人才速成，但從長遠計，接受通識（shí）教育的學生的創新（xīn）性和貢獻更為突出。

即使已入耄耋之年，身患各種疾（jí）病，陳星弼還是親自帶碩士生、博士生（shēng），關（guān）心（xīn）每一位學生的成長和發展。

陳星弼是嚴師，更是慈父。他掏錢請學生看（kàn）電影、吃飯，在（zài）甲型流感暴發期間自費購買（mǎi）中藥熬給同學們喝。

更（gèng）有意思的是（shì），“讓（ràng）我付錢（qián）我才去”成為陳星弼和畢業學生聚會的“標準”。學生們都（dōu）記得，有一次聚會大（dà）家偷偷付了錢，陳先生很不開（kāi）心，批評“說話不算數”。下次再約時，陳星弼說（shuō）“除非我把上次（cì）聚會時的錢出（chū）了，否則我不去。”“在他心（xīn）裏（lǐ），我（wǒ）們就是（shì）他的孩子啊。”

2018年教師節（jiē）前（qián）夕，陳星弼與（yǔ）劉盛綱、李樂民三位院士共同獲得“成電立德樹人成就獎”，這是屬於電子科技大學教師的最（zuì）高榮譽。

家國情懷

“隻（zhī）有（yǒu）科學和教育發展了，國家才（cái）能振興。沒（méi）有科學教育，國家就會落後，落（luò）後就要挨打。”在紀念二戰勝利70周（zhōu）年（nián）時，陳星弼曾談到科教興國的（de）意義，“科（kē）學技術（shù）是第一生（shēng）產力，科學技術（shù）無形中推動生產力（lì）的發展，任何人不能阻止（zhǐ）曆史的（de）車（chē）輪。”

這樣的感悟與陳星弼刻骨（gǔ）銘心的少年經曆密（mì）切相關。國破山河（hé）在（zài），城（chéng）春草木深。1937年，戰爭陰雲密布，不到7歲的陳（chén）星弼跟隨父母離開上海，在（zài）連天的炮火中，踏上（shàng）向西的逃（táo）難之路。

他們逃到了餘姚、浦江，又輾轉至蕭山、金華、南昌（chāng）、長沙、九江……曆經艱險到達重（chóng）慶，一家人才稍作安頓。陳星弼轉（zhuǎn）學四次後結束了（le）小學生活。

陳星弼的少年（nián）時代（dài）拮據清貧，中學每月隻發（fā）給他（tā）們二鬥三升米，大部分都是黴爛的紅米。而（ér）每（měi）次回家，他都要為船費發愁。

1943年（nián），陳星弼轉學到江津縣國立九中，“十（shí）萬青年十萬軍”的大規模征兵運動正在全國開展。他唱著《棠（táng）棣之花》送別披上戎裝的同學，隻恨（hèn）自己年齡小不能參軍，要麽真想爬上卡車，到（dào）印度，到（dào）緬甸，到抗日前線。

年少的陳星弼在緊張的課餘認真軍訓，操練，打靶，一絲不苟。語文老師教大家毛（máo）澤東的（de）詞《沁園（yuán）春·雪》，他非常喜愛。陳（chén）星（xīng）弼和同學還排演曹禺（yú）、田漢、夏（xià）衍、郭沫若的愛國話（huà）劇。

年歲漸增，陳星弼對祖國的愛更（gèng）深，為祖國奉獻一生的意願更加強烈。大二時，陳星弼放棄了獎學金。他想，國家還有許多急需用錢的地方，“我也要為祖（zǔ）國盡微薄之（zhī）力。”畢業分配填寫誌願表時，他鄭重地在（zài）每（měi）一個誌願欄裏（lǐ）都填上“服從組織分配”，並真誠地表示要“到東北去、到西北去、到最艱苦的地方去”，建功立業（yè）。

五（wǔ）十歲時（shí），陳星弼走出國門，以真才實（shí）學贏得了國際（jì）友人的尊重。他主動上交外匯，卻把收（shōu）據滿不在（zài）乎地丟棄。為（wéi）了給（gěi）工業發展作出切切實實的貢獻，他痛苦地放棄了關於理論物理（lǐ）的夢想。在功率器件領域艱苦工作，常常通宵達旦。

陳星弼視名利如浮（fú）雲（yún），他（tā）衣（yī）著樸素，家裏甚至還用著20多年前的暖水瓶（píng）。不了（le）解的人很難想象，這位看似普通的老（lǎo）人，專（zhuān）利成果帶（dài）來的經濟效益約20億美元。“如果隻是為了名（míng）利，我不可能在（zài）科研上耗費一輩子的（de）精力。”陳星弼（bì）說。

從大學時代（dài）開始（shǐ），陳星弼就閱讀馬克思曆史唯物主義著作，而且順著哲學學術河流上溯，閱讀（dú）了（le）德國古典哲學（xué）著作。“我是經過了艱苦的閱讀、認真的思索，才開始接受馬克（kè）思主義。”

終其一生（shēng），馬克思主義給予陳星弼源（yuán）源（yuán）不斷的精神力（lì）量（liàng）。他引用（yòng）馬（mǎ）克思的名言——“科學絕不是（shì）一種自私自利的享樂。有幸能夠（gòu）致力於科學（xué）的人，首先應該拿自己的學識為人類服務”，認為“能夠在短促（cù）的人生中，以科學服務人類，這就是我追（zhuī）求的價值”。他也（yě）希（xī）望有更多的青年獻身科研，成為（wéi）科研發展的（de）脊梁。

“長壽，是（shì）讓我有充足的時間為祖國做更多的事情。”陳（chén）星弼並不在乎生命長短與（yǔ）否，但耄耋之年仍緊張工作在科研戰線最前沿（yán），他深感（gǎn）幸（xìng）運。經曆過山河破（pò）碎，對（duì）國弱民賤、生靈塗（tú）炭的（de）印象錐（zhuī）心（xīn）刺骨（gǔ），陳星弼始終（zhōng）葆有（yǒu）這樣的“初心”：要把自（zì）身（shēn）的前途命運同國家和民（mín）族的前途命運緊緊聯係在（zài）一起，在（zài）祖國需要的科研戰線上建功立業。他“心有大我、至誠報國”，也激勵著廣大科研工作者開拓創新，解決關鍵技術“卡脖子”問題，將科研人生融入實現（xiàn）中華民族偉大複興中國夢的曆史洪流（liú）中。

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《光明日報（bào）》（ 2020年03月02日 11版）